無(wú)油真空泵又稱(chēng)干式真空泵，是泵工作室內(nèi)無(wú)介質(zhì)的回收氣體。有油真空泵，如旋片泵，依靠介質(zhì)油工作，同一水環(huán)泵依靠水工作（然后水被污染）。

一、有油真空泵

油真空泵通過(guò)油密封、潤(rùn)滑、冷卻，這種類(lèi)型的真空泵可以接受一點(diǎn)水，無(wú)油真空泵由于葉片材料是石墨，如果遇到水，容易膨脹、損壞，但無(wú)油真空泵相對(duì)干凈，可用于一些環(huán)境要求較高的地方。

二、無(wú)油真空泵

其工作原理與一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要部件組成。帶旋轉(zhuǎn)片的轉(zhuǎn)子偏心安裝在固定缸內(nèi)。當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的四個(gè)徑向滑動(dòng)旋轉(zhuǎn)片將泵腔分隔成四個(gè)工作室。由于離心力的作用，旋轉(zhuǎn)片靠近缸壁，將定子進(jìn)出口分開(kāi)，反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)變?nèi)荩霘怏w，從排氣口排出，達(dá)到抽氣的目的。實(shí)驗(yàn)室一般采用無(wú)油真空泵，是一種直接連接電源的真空泵，不需要添加水或真空泵油。無(wú)油泵的優(yōu)點(diǎn)是操作簡(jiǎn)單，同時(shí)免維護(hù)。由于干式運(yùn)行原理，真空泵工作室不會(huì)產(chǎn)生油霧揮發(fā)，或泵油和水吸入泵管。無(wú)油真空泵適用于真空過(guò)濾或吸液、細(xì)胞培養(yǎng)液廢液提取。這些用途對(duì)真空度要求不高。如果使用油泵，吸油和油霧污染會(huì)影響實(shí)驗(yàn)。例如，在過(guò)濾過(guò)程中，反向吸入會(huì)污染過(guò)濾過(guò)的過(guò)濾液入培養(yǎng)基礎(chǔ)上的清洗液一般不能在潔凈室使用油泵或水循環(huán)真空泵產(chǎn)品。一些真空度高、抽速高的無(wú)油真空泵，也可與真空干燥箱或小型真空干燥器相匹配。