螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初出現(xiàn)的一種理想的泵種，由于具有抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、泵腔內(nèi)無(wú)摩擦元件、能耗低、無(wú)廢液排放，以及運(yùn)行成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

目前，各種真空泵的發(fā)展越來(lái)越受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已經(jīng)無(wú)法滿(mǎn)足清潔無(wú)油、耐腐蝕、抽可凝性蒸汽，以及能在惡劣工況下運(yùn)行的需要，因此，近幾年來(lái)，干式真空泵發(fā)展很快，真空獲得產(chǎn)品出現(xiàn)了更新?lián)Q代的局面。

螺桿真空泵的工作原理：由一對(duì)同步齒輪帶動(dòng)逆向旋轉(zhuǎn)的螺桿，在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間，有一定的間隙，沒(méi)有任何金屬與金屬之間的接觸。于是，螺桿在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中就將被抽氣體從進(jìn)氣口吸入，并排出到排氣口。

早期的螺桿真空泵是等螺距，為了降低能耗、降低泵腔內(nèi)的溫度，后來(lái)又開(kāi)發(fā)了變螺距的螺桿真空泵。其中一種螺桿是由二段螺距大小不等的螺桿拼接而成，另一種就是螺距連續(xù)變化的螺桿真空泵，螺桿由一個(gè)整體材料加工制作而成。各種不同的螺桿見(jiàn)圖1所示。

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